紫外线照射装置

摘要

本发明的课题;本发明的目的在于提供一种具备受激准分子灯的紫外线照射装置，可确实地检测受激准分子灯的点灯或未点灯的紫外线照射装置。;本发明的解决手段;一种紫外线照射装置，属于具备：具有由透射紫外线于至少一部分的介电材料所构成，而在其内部的放电空间填充有放电用气体的放电容器，及介于构成该放电容器的介电材料而面对面的一对电极的受激准分子灯，及分别电性地连接于该一对电极且给电至上述受激准分子灯的给电装置的紫外线照射装置，其特征为：上述给电装置是对于至少任一方的电极，电性地连接于其一端侧，具备：将对应于比有效发光领域中连接有上述给电装置的电极一端更接近于其电极另一端的领域所配置的由一端所射入的上述受激准分子灯所放射的光从另一端射出的导光部，及受光从该导光部所射出的光的受光部，及依据该受光部的测定结果进行检测上述受激准分子灯的点灯状态的点灯检测手段。

主权项

一种紫外线照射装置，具备有：具有由介电材料所构成，而在其内部的放电空间填充有放电用气体的放电容器，及隔着构成该放电容器的介电材料而面对面的一对电极的受激准分子灯，及分别电性地连接于上述一对电极且给电至上述受激准分子灯的给电装置，及配置于上述受激准分子灯的有效发光领域的导光部，及接受从该导光部所射出的光的受光部，及依据该受光部的测定结果进行检测上述受激准分子灯的点灯状态的点灯检测手段；其特征为：上述给电装置，乃是对至少其中一方的电极，被电性连接于其之一端侧；上述导光部，乃是被配置于在靠近到上述一方的电极之另一端的领域中之终端附近。一种紫外线照射装置，具备有：具有由介电材料所构成，而在其内部的放电空间填充有放电用气体的放电容器，及隔着构成该放电容器的介电材料而面对面的一对电极的受激准分子灯，及分别电性地连接于上述一对电极且给电至上述受激准分子灯的给电装置，及配置于上述受激准分子灯的有效发光领域的导光部，及接受从该导光部所射出的光的受光部，及依据该受光部的测定结果进行检测上述受激准分子灯的点灯状态的点灯检测手段；其特征为：上述给电装置，乃是对至少其中一方的电极，被电性连接于其之一端侧；上述导光部，乃是被配置于在上述内侧电极的中心部附近的领域中之中心侧。如请求项第1项或第2项的紫外线照射装置，其中，上述电极的任一方是配置于上述放电容器内的放电空间，而在与该一方的电极的至少另一方的电极之间进行放电的部位外表面，藉由至少一端在放电空间内被开放的介电材料所构成的内侧管所覆盖。