发明名称 太阳能电池元件结构及其制作方法
摘要 根据本发明一实施例之太阳能电池元件结构,其包含一基板、一金属层、一p型半导体层、一n型半导体层及一透明导电层。该基板具一粗糙面;金属层可包含钼金属,且形成于基板之该粗糙面上。p型半导体层形成于该金属层上,可包含铜铟镓硒硫(CIGSS)、铜铟镓硒(CIGS)、铜铟硫(CIS)、铜铟硒(CIS)或包含铜、硒或硫二者或二者以上之化合物材料。n型半导体层形成于该p型半导体层上,且与该p型半导体层形成粗糙之p-n接合面。n型半导体层可为硫化镉(CdS)。透明导电层形成于该n型半导体层上。一实施例中,该粗糙面之粗糙度介于0.01至100 μm之间。
申请公布号 TWI377685 申请公布日期 2012.11.21
申请号 TW097147584 申请日期 2008.12.08
申请人 太阳海科技股份有限公司 发明人 章丰帆;林信志;林信宏;谢季桦;李宗龙
分类号 H01L31/0352 主分类号 H01L31/0352
代理机构 代理人 冯博生 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种太阳能电池元件结构,包含:一基板,具一粗糙面;一金属层,形成于该基板之该粗糙面上;一p型半导体层,形成于金属层之表面,包含铜铟镓硒硫、铜铟镓硒、铜铟硫、铜铟硒或包含铜、硒或硫二者或二者以上之化合物材料;一n型半导体层,形成于该p型半导体层上,且与该p型半导体层形成粗糙之p-n接合面;以及一透明导电层,形成于该n型半导体层上。根据请求项1之太阳能电池元件结构,其中该粗糙面之粗糙度介于0.01至100 μm间。根据请求项1之太阳能电池元件结构,其中该p-n接合面之粗糙度介于0.01至100 μm间。根据请求项1之太阳能电池元件结构,其中该基板为玻璃基板、塑胶软板、不锈钢、钼、铜、钛、铝等金属板或金属箔片。根据请求项4之太阳能电池元件结构,其中该粗糙面系由喷砂或蚀刻形成。根据请求项4之太阳能电池元件结构,其中该粗糙面系由喷砂后进行蚀刻形成。根据请求项1之太阳能电池元件结构,其中该基板为金属基板。根据请求项7之太阳能电池元件结构,其中该粗糙面系由蚀刻或机械压花形成。根据请求项1之太阳能电池元件结构,其中该金属层包含钼。根据请求项1之太阳能电池元件结构,其中该n型半导体层包含硫化镉、硫化锌、硫化铟。根据请求项1之太阳能电池元件结构,其中该n型半导体层与透明导电层间另包含一载子阻障层。根据请求项1之太阳能电池元件结构,其中该透明导电层系选自铟锡氧化物、铟锌氧化物、铝锌氧化物、镓锌氧化物、铝镓锌氧化物、镉锡氧化物、氧化锌及二氧化锆。一种太阳能电池元件结构之制造方法,包含:提供一基板;粗糙化该基板,于该基板形成一粗糙面;形成一金属层于该粗糙面上;形成一p型半导体层于该金属层上,该p型半导体层包含铜铟镓硒硫、铜铟镓硒、铜铟硫、铜铟硒或包含铜、硒或硫二者或二者以上之化合物材料;形成一n型半导体层于该p型半导体层上,其中该n型半导体层与该p型半导体层形成粗糙之p-n接合面;以及形成一透明导电层于该n型半导体层上。根据请求项13之太阳能电池元件结构之制造方法,其中该粗糙面之粗糙度介于0.01至100 μm间。根据请求项13之太阳能电池元件结构之制造方法,其中该p-n接合面之粗糙度介于0.01至100 μm间。根据请求项13之太阳能电池元件结构之制造方法,其中该基板系玻璃基板,粗糙化该基板之步骤包含蚀刻、喷砂。根据请求项16之太阳能电池元件结构之制造方法,其中粗糙化该基板之步骤系包含喷砂后蚀刻。根据请求项16之太阳能电池元件结构之制造方法,其中蚀刻系利用氢氟酸。根据请求项13之太阳能电池元件结构之制造方法,其中该基板系金属基板,粗糙化该基板之步骤包含蚀刻、机械压化。根据请求项13之太阳能电池元件结构之制造方法,其中粗糙化该基板包含:形成一第一金属膜于该基板;蚀刻粗糙化该第一金属膜;以及形成该第二金属膜于该第一金属膜上。根据请求项13之太阳能电池元件结构之制造方法,其中形成该金属层系利用溅镀。根据请求项13之太阳能电池元件结构之制造方法,其中形成该p型半导体层系利用元素源共同蒸镀、金属前驱物硒化、化合物源蒸镀、化学气相沉积、封闭空间气相传输、喷雾热解、电镀、前驱物低温液相沉积或粒状前驱物黄铜晶化。根据请求项13之太阳能电池元件结构之制造方法,其中形成透明导电层于该n型半导体层上之前另包含形成一载子阻障层之步骤,使得该载子阻障层形成于该n型半导体层及透明导电层之间。
地址 新竹县湖口乡新竹工业区光复北路12号6、7楼