发明名称 |
成膜方法和成膜装置 |
摘要 |
本发明提供成膜方法和成膜装置。成膜方法包括以下步骤:将基板输入到真空容器内,将基板载置在能旋转地设在真空容器内的旋转台上;使旋转台旋转;吸附步骤,自第1反应气体供给部向基板供给第1反应气体,使第1反应气体吸附于基板;形成步骤,自第2反应气体供给部向基板供给与第1反应气体反应的第2反应气体,使第2反应气体与吸附于基板的第1反应气体反应,在基板上形成反应生成物;向等离子体产生部供给含氢气体,在旋转台的上方生成等离子体,该等离子体产生部在旋转台的周向上与第1反应气体供给部及第2反应气体供给部分开地设置。 |
申请公布号 |
CN102787304A |
申请公布日期 |
2012.11.21 |
申请号 |
CN201210155103.6 |
申请日期 |
2012.05.17 |
申请人 |
东京毅力科创株式会社 |
发明人 |
加藤寿;牛窪繁博;田村辰也;尾崎成则;熊谷武司;菊地宏之 |
分类号 |
C23C16/50(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/50(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;张会华 |
主权项 |
一种成膜方法,其中该成膜方法包括以下步骤:将基板输入到真空容器内,将上述基板载置在能旋转地设在上述真空容器内的旋转台上;使上述旋转台旋转;吸附-形成-照射步骤,自第1反应气体供给部向上述基板供给第1反应气体,使上述第1反应气体吸附于上述基板,自第2反应气体供给部向上述基板供给与上述第1反应气体反应的第2反应气体,使上述第2反应气体与吸附于上述基板的上述第1反应气体反应,在上述基板上形成反应生成物,向等离子体产生部供给含氢气体,在上述旋转台的上方生成等离子体,向上述反应生成物照射等离子体,该等离子体产生部在上述旋转台的周向上与上述第1反应气体供给部及上述第2反应气体供给部分开地设置。 |
地址 |
日本东京都 |