保管及供给基板的系统

摘要

本发明的用于保管容纳于容器中的多个对象物并向下一个工序的装置供给的系统，具备与上述装置邻接的第一工位和至少一部分与上述第一工位邻接的第二工位。上述第一工位具备：在支撑上述容器的同时进行升降的第一支撑体；可与上述第一支撑体交错地进行升降，且通过与上述第一支撑体的交错从上述第一支撑体接受上述容器的第二支撑体；使上述第二支撑体升降并使上述多个对象物在特定位置依次对位的升降机构；以及将上述多个对象物中位于上述特定位置的对象物从上述容器向上述装置送出的送出机构。上述第二工位具备：在支撑上述容器的同时进行升降的第三支撑体；以及为了将上述容器交接到上述第一支撑体将上述第三支撑体沿水平方向移动的第一移动装置。

主权项

一种系统，用于保管容纳于容器中的多个对象物并向下一个工序的装置供给，其特征在于，具备与上述装置邻接的第一工位和至少一部分与上述第一工位邻接的第二工位，上述第一工位具备：构成为在支撑上述容器的同时进行升降的第一支撑体；构成为可与上述第一支撑体交错地进行升降，且构成为通过与上述第一支撑体的交错而从上述第一支撑体接受上述容器的第二支撑体；构成为使上述第二支撑体升降并使上述多个对象物在特定位置依次对位的升降机构；以及将上述多个对象物中位于上述特定位置的对象物从上述容器向上述装置送出的送出机构，上述第二工位具备：构成为在支撑上述容器的同时进行升降的第三支撑体；为了将上述容器交接到上述第一支撑体而将上述第三支撑体沿水平方向移动的第一移动装置；以及使上述第三支撑体升降的升降装置，将上述交错定义为一个要素不干涉另一个要素且通过该另一个要素。