微蚀液循环再生系统

摘要

一种微蚀液循环再生系统，辅助系统有与微蚀生产槽相连的辅助槽(6)，收集系统有收集失效微蚀液的收集罐(5)，铜回收系统利用电化学氧化还原原理将失效微蚀液中铜离子提取所需的电极(8)，微蚀液调整系统有调整失效微蚀液Na2S2O8(过硫酸钠)含量的调整槽(2)，调整槽(2)设有失效微蚀液的输入及调整后再生微蚀液的输出管路，将调整后的再生微蚀液通过泵抽至辅助槽(6)。是一种能降低微蚀液成本、保证再生微蚀液质量、环保的微蚀液循环再生系统。

主权项

一种微蚀循环再生系统，包括辅助系统、收集系统、铜回收系统和微蚀液调整系统，所述辅助系统与收集罐、微蚀槽设有相连的管路；收集系统设有与辅助相连的管路，铜回收系统通过管路与微蚀液调整系统相连接；微蚀液调整系统设有与辅助系统相连的管路，其特征在于：一、所述辅助系统包括有与微蚀生产槽相连的辅助槽(6)，辅助槽(6)设有失效微蚀液的输出管路及再生微蚀液的输进管路；失效微蚀液通过辅助槽管路进入收集系统；二、所述收集系统包括有收集失效微蚀液的收集罐(5)，收集罐(5)设有失效微蚀液的输入和输出管路；失效微蚀液从收集罐泵送至铜回收系统(4)；三、所述铜回收系统设有失效微蚀液的输入和输出管路，并在系统中设有利用电化学氧化还原原理将失效微蚀液中的铜离子还原提取的电极(8)；四、所述微蚀液调整系统包括有调整失效微蚀液Na2S2O8含量的调整槽(2)，调整槽(2)设有失效微蚀液的输入及调整后再生微蚀液的输出管路，将调整后的再生微蚀液通过泵抽至辅助槽(6)。