| 发明名称 | 需真空设备与抽真空设备之间的联动装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种需真空设备与抽真空设备之间的联动装置。根据本实用新型的需真空设备与抽真空设备之间的联动装置包括：无线信号发射器和无线信号接收器；其中，所述无线信号发射器连接至所述需真空设备，所述无线信号接收器连接至所述抽真空设备；并且，所述无线信号发射器从所述需真空设备接收指示信号，并根据所述指示信号向所述无线信号接收器发送无线信号；并且，所述无线信号接收器根据接收到的所述无线信号向所述抽真空设备发出控制信号。根据本实用新型，所加装的包括无线信号发射器和无线信号接收器的无线转接器可以使需真空设备与现行的抽真空设备顺利联动。 | ||
| 申请公布号 | CN202545209U | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
| 申请号 | CN201220200395.6 | 申请日期 | 2012.05.04 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 程奥博;赵开乾;林晓瑜;何虎 |
| 分类号 | F04B49/06(2006.01)I;G08C17/02(2006.01)I | 主分类号 | F04B49/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 陆花 |
| 主权项 | 一种需真空设备与抽真空设备之间的联动装置，其特征在于包括：无线信号发射器和无线信号接收器；其中，所述无线信号发射器连接至所述需真空设备，所述无线信号接收器连接至所述抽真空设备；并且，所述无线信号发射器从所述需真空设备接收指示信号，并根据所述指示信号向所述无线信号接收器发送无线信号；并且，所述无线信号接收器根据接收到的所述无线信号向所述抽真空设备发出控制信号。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号 | ||