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发明名称
摘要
申请公布号	JP5077752(B2)	申请公布日期	2012.11.21
申请号	JP20070305514	申请日期	2007.11.27
申请人		发明人
分类号	C23C14/35;C23C14/34;H01L21/285	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
主权项
地址

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