Dispositivo de deposición al vacio

摘要

Un dispositivo de deposición al vacío en el que hay dispuestos una fuente (2) de evaporación y un cuerpodepositado (3) en el interior de una cámara (1) de vacío, un espacio entre la fuente (2) de evaporación y elcuerpo depositado (3) está rodeado por un cuerpo tubular (4) calentado a una temperatura en la cual sevaporiza una sustancia de la fuente (2) de evaporación, y se hace que la sustancia vaporizada procedente dela fuente (2) de evaporación alcance una superficie del cuerpo depositado (3) a través de un lado interno delcuerpo tubular (4), de forma que sea depositada, en el que se proporciona, dentro de dicho cuerpo tubular (4),un miembro (8) de control para controlar de forma que guíe un movimiento de dicha sustancia vaporizada haciael cuerpo depositado (3) en el interior de dicho cuerpo tubular (4), en el que, una porción (5) de abertura deluerpo tubular (4) está conformada con una forma rectangular constituida por una línea mayor (5a) y una líneamenor (5b), y el dispositivo de deposición al vacío está dotado de un medio para mover el cuerpo depositado(3), teniendo dicho medio para mover una magnitud tal que la longitud de una línea que se extiende a lo largode dicha línea mayor (5a) es menor que la longitud de dicha línea mayor (5a) y la longitud de una línea que seextiende a lo largo de dicha línea menor (5b) es más larga que la longitud de dicha línea menor (5b) en unadirección paralela a dicha línea menor (5b), de forma que atraviesa dicha porción (5) de abertura,caracterizado porquedicho miembro (8) de control es un par de placas (10b) de obstáculo que están dispuestas en un lado cerca dela porción (5) de abertura y están proporcionadas de forma que se proyectan en oposición a superficiesinternas respectivas cerca de las líneas mayores (5a) de la porción (5) de abertura, y una anchura de unespacio (30) entre los extremos anteriores respectivos de las placas (10b) de obstáculo se vuelve más estrechahacia la porción central de la línea mayor (5a) en la porción (5) de abertura y más ancha hacia la porciónextrema.