一种气相沉积合成炉

摘要

本实用新型一种气相沉积合成炉，用于间接法合成石英玻璃中，其包括：封闭式炉体及支撑架，保温炉膛，氢氧火焰燃烧器，石英基础杆以及烟囱。其中氢氧火焰燃烧器设1-6个，其中心下料管出口端到石英基础杆底端的垂直距离为5-300mm。本实用新型可以使纳米二氧化硅微粒在石英基础杆底端面沉积而形成二氧化硅疏松体，沉积效率和沉积速率高，使石英玻璃制造成本降低，生产效率高，产品质量提升。

主权项

一种气相沉积合成炉，其特征在于，包括以下组件：1)封闭式炉体及用于支撑炉体的支撑架；2)保温炉膛，设于炉体内部；3)氢氧火焰燃烧器，设置于炉体的斜下部且燃烧器中心料管出口端伸入保温炉膛，且设有氢气、氧气和四氯化硅原料气的进气口；4)石英基础杆，从炉体顶部垂直延伸入炉体内腔保温炉膛内，位于氢氧火焰燃烧器的中心料管出口端上，石英基础杆的底端面与氢氧火焰燃烧器出口端相对；5)烟囱，设置于炉体顶部或炉体一侧，烟囱的烟道入口高于石英基础杆的底端面。