模的制造方法和使用模的反射防止膜的制造方法

摘要

本发明的蛾眼用模的制造方法包括：工序(a)：准备Al的含量为不到99.99质量％的Al基材；工序(b)，通过使Al基材部分地阳极氧化，形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层；工序(c)，在工序(b)之后，通过使多孔氧化铝层与含有阳极抑制剂的蚀刻液接触，使多孔氧化铝层的多个微细凹部扩大；以及工序(d)，在工序(c)之后通过进一步地阳极氧化使多个微细凹部生长。

主权项

一种模的制造方法，用于在表面形成具有多个第1凸部的蛾眼构造，上述第1凸部从表面的法线方向看时的二维大小为10nm以上且不到500nm，上述模的制造方法包括如下工序：(a)准备Al的含量为不到99.99质量％的Al基材；(b)通过对上述Al基材部分地进行阳极氧化，形成具有多个微细凹部的多孔氧化铝层；(c)在上述工序(b)之后，通过使上述多孔氧化铝层与含有阳极抑制剂的蚀刻液接触，使上述多孔氧化铝层的上述多个微细凹部扩大，上述阳极抑制剂吸附到成为阳极的Al上，防止Al的阳极溶解；以及(d)在上述工序(c)之后，进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细凹部生长，上述Al基材是不包括Al薄膜、能自我支撑、厚度为2mm以上的板状或者圆筒状或者圆柱状的块状Al，上述Al基材包含选自Fe、Si、Cu、Mn、Zn、Ni、Ti、Pb、Sn以及Mg中的至少1种元素，在上述Al基材中，标准电极电位比Al高的元素的含量为10ppm以下，标准电极电位比Al低的元素的含量为0.1质量％以上。