微型流量传感器

摘要

微型流量传感器，属于MEMS器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本发明之一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，各隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本发明另一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，各隔热层表面覆盖绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本发明体积小、重量轻而且性能稳定，能有效降低衬底传热导致的测量误差，通过测量两个加热体间的电阻差值来测定气流流量，有效的解决了现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。

主权项

一种微型流量传感器，包括衬底、隔热层和加热体，其特征在于：所述衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极；所述衬底材料为单晶硅、多晶硅、玻璃或陶瓷封装材料；所述隔热层材料为二氧化硅或氮化硅；所述加热体为形状弯曲的Pt或镍金属；所述金属电极由Ti附着层表面溅射Cu层、Al层或Au层构成，或者由Ti附着层表面溅射Pt层后再溅射Au层构成，或者由Cr附着层表面溅射Au层、Cu层或Al层构成，或者由Cr附着层表面溅射Pt层后再溅射Au层构成。