| 发明名称 | 一种LPCVD预热腔控温系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种LPCVD预热腔控温系统，具体地讲是涉及一种LPCVD预热腔分区控温系统。该系统包括加热模块、与加热模块连接的温度控制模块，加热模块分为六个控温区，每个控温区包括一个或多个碳中波红外灯管，其中四个控温区分布在中心位置，另外两个控温区分别位于玻璃传输方向的两侧。该系统结构相对简单，加热效果好，能够在玻璃预热控温过程中保持温度更加均匀，控温准确，成品率高，且易于维护。 | ||
| 申请公布号 | CN202543323U | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
| 申请号 | CN201220186551.8 | 申请日期 | 2012.04.26 |
| 申请人 | 汉能科技有限公司 | 发明人 | 乔志强 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种LPCVD预热腔控温系统，包括加热模块、与加热模块连接的温度控制模块，其特征在于加热模块分为六个控温区，每个控温区包括一个或多个碳中波红外灯管，其中四个控温区分布在中心位置，另外两个控温区分别位于玻璃传输方向的两侧。 | ||
| 地址 | 102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号院 | ||