一种延迟双脉冲激光产生等离子体的测量装置

摘要

本实用新型公开了一种延迟双脉冲激光产生等离子体的测量装置，该测量装置包括激光器、通过倍频晶体和二向色分光镜将激光光束分成基频光光路和倍频光光路的二向色光分离系统、等离子体干涉探测系统和等离子体干涉条纹接收系统，所述基频光光路上设有用于将基频光分成两束光的分光系统，其中，第一光束用于聚焦到干涉仪中的靶材产生等离子体，第二光束用于聚焦到第一光束所产生的等离子体中。本实用新型具有对延迟双脉冲激光在靶材表面和透明介质中产生等离子体均可探测的特点且本实用新型的延迟双脉冲激光产生等离子体的测量装置，结构简单，制造成本低，实用方便，填补了国内外空白。

主权项

一种延迟双脉冲激光产生等离子体的测量装置，包括激光器、通过倍频晶体和二向色分光镜将激光光束分成基频光光路和倍频光光路的二向色光分离系统、等离子体干涉探测系统和等离子体干涉条纹接收系统，所述等离子体干涉探测系统包括干涉仪和倍频光探测系统，其特征在于：所述基频光光路上设有用于将基频光分成两束光的分光系统，其中，第一光束用于聚焦到干涉仪中的靶材产生等离子体，第二光束用于聚焦到第一光束所产生的等离子体中；所述分光系统包括位于基频光光路上的可旋转的半波片和分光用的偏振分光镜。