等离子体处理装置、供电装置及等离子体处理装置的使用方法

摘要

本发明提供一种使用了同轴管的微波的传输线路。在等离子体处理装置(10)中，将从微波源(900)经由分支波导管(905)向同轴管(600)传输的微波利用分支板(610)分成多个微波，向多个同轴管的内部导体(315a)传输。沿各同轴管的内部导体(315a)传输来的微波从与各内部导体(315a)连接的各电介质板(305)释放到处理容器(100)的内部。利用所释放的微波来激发导入到处理容器(100)中的处理气体，对基板(G)实施期望的等离子体处理。通过使用多个电介质板(305)，可以应对大面积化，提高扩展性，并且通过在传输线路中使用同轴管，可以实现传输线路的设计紧凑，并兼顾供给低频的微波。

主权项

一种等离子体处理装置，利用电磁波激发气体，对被处理体进行等离子体处理，具备：处理容器；输出电磁波的电磁波源；传输从所述电磁波源中输出的电磁波的传输线路；多个电介质板，其设于所述处理容器的内壁上，使电磁波透过，释放到所述处理容器的内部；多个导体棒，其与所述多个电介质板相邻或接近，使电磁波传输到所述多个电介质板；分支部，其将沿所述传输线路传输来的电磁波分成多个电磁波，向所述多个导体棒传输，所述多个导体棒中的1个或2个以上的导体棒与各电介质板相邻或接近，所述传输线路包括多个第一同轴管和与所述多个电介质板大致平行地配置的至少一个第三同轴管，该多个第一同轴管的内部导体与各个所述第三同轴管的内部导体连接，所述多个第一同轴管分别经由所述分支部向所述多个导体棒传输电磁波。