一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置及方法

摘要

本发明涉及一种原位测量聚焦激光光束能量分布的装置和方法。该装置由一支架固定在高精度平移台上，该支架的桌面开有固定小孔部件的孔洞；显微镜镜头垂直于小孔部件设置，在桌面开孔的下方设置收集透镜，该收集透镜通过光纤与探测器连接，该探测器获得透射的激光信号输入给数据处理器，测试数据经数据处理器处理得到激光光斑的能量分布图。测量方法是利用显微镜确定小孔的位置，使激光聚焦在小孔位置；调节和设置探测器的曝光时间，根据所设置的步长进行扫描、曝光，数据处理器给出聚焦激光光斑的能量分布图。本发明利用小孔部件扫描激光光斑，将收集到的激光信号耦合到高灵敏、大动态响应范围的探测器上，实现聚焦光斑能量分布的精确测量。

主权项

一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置，包括探测器和数据处理器；其特征在于：还包括支架、显微镜镜头、收集透镜、光纤、高精度平移台和小孔部件；所述的小孔部件由一块带有氮化硅薄膜凹槽的硅片，并在所述的凹槽表面上镀金薄膜，该镀金薄膜厚度为500‑800纳米，再利用聚焦离子束技术，在所述的镀金薄膜上刻蚀直径为0.2‑0.3微米的圆形通孔；所述的通孔用于透过少量的激光信号，防止探测器的过饱和；所述的支架固定在所述的高精度平移台上，该支架的桌面开有一固定在所述小孔部件的孔；所述的显微镜镜头垂直于小孔部件设置，在支架的桌面开孔的下方设置所述的收集透镜，该收集透镜通过所述的光纤与所述的探测器连接，该探测器获得透射的激光信号输入给数据处理器，测试数据经由数据处理器处理得到激光光斑的能量分布图。