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发明名称 MOUNTING FOR FIXING A REACTOR IN A VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 EP2524067(A1) 申请公布日期 2012.11.21
申请号 EP20110701365 申请日期 2011.01.12
申请人 OERLIKON SOLAR AG, TRUEBBACH 发明人 ILINICH, EDUARD;MEIER, ANDREAS
分类号 C23C16/458;C23C16/46 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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