用于半导体面板的具有清洗室的等离子体清洗设备

摘要

本发明涉及用于在半导体制造过程中利用等离子体放电清洗半导体元件(清洗对象或PCB板)的等离子体清洗设备。更具体地，本发明涉及具有清洗室(100)的半导体等离子体清洗设备，其通过对放置在盒子中的清洗对象进行连续的等离子体清洗来提高工作效率。具有多个清洗室(100)的半导体等离子体清洗设备包括：直立地平行布置的多个清洗室(100)；卸载单元(200)，根据将其上装载有清洗对象的盒子接连地传送至每个清洗室(100)前部的清洗进行情况，可在上/下方向上移动；多个第一推动器(250)，安装至卸载单元(200)，以一个接一个地推动并排出由卸载单元(200)朝着清洗室传送的盒子中所装载的清洗对象；可转动传送单元(300)，用于从卸载单元(200)接收其中已排出所有清洗对象的空盒子，将空盒子水平地旋转180°，并将空盒子传送至等离子体清洗室的后部；装载单元(400)，用于从可转动传送单元(300)接收空盒子，并将空盒子接连地传送至每个等离子体清洗室(100)的后部，同时根据清洗进行情况从下侧移动至上侧；以及第二推动器(500)，用于将已完成清洗的清洗对象推动并装载到装载单元(400)处的空盒子中。

主权项

一种具有多个清洗室的半导体等离子体清洗设备，包括：直立地平行布置的多个清洗室；卸载单元，根据将其上装载有清洗对象的盒子接连地传送至每个清洗室前部的清洗进行情况，所述卸载单元可在上/下方向上移动；多个第一推动器，安装至所述卸载单元，以便一个接一个地推动并排出由所述卸载单元朝着清洗室传送的盒子中所装载的清洗对象；可转动传送单元，用于从所述卸载单元接收其中已排出所有清洗对象的空盒子，将所述空盒子水平地旋转180°，并将所述空盒子传送至等离子体清洗室的后部；装载单元，用于从所述可转动传送单元接收空盒子，并将所述空盒子接连地传送至每个等离子体清洗室的后部，同时根据清洗进行情况从下侧移动至上侧；第二推动器，用于将已完成清洗的清洗对象推动并装载到装载单元处的空盒子中；第一定位单元，位于每个等离子体清洗室的前面，所述第一定位单元在横向方向上具有多个引导件，以便接连地定位由第一推动器从盒子排出的清洗对象；第二定位单元，位于每个等离子体清洗室的后面，所述第二定位单元在横向方向上具有多个引导件，以便定位从所述等离子体清洗室排出的清洗后的清洗对象；进料器，安装至所述第一和第二定位单元中的每一个，以将清洗对象向后移动至定位位置；以及清洗对象传送装置，提供给所述第一定位单元，以将定位在所述第一定位单元上的清洗对象传送至相关的等离子体清洗室，或将清洗后的清洗对象传送至所述第二定位单元，其中，所述卸载单元包括：传送器，用于接收盒子并将盒子传送至拾取位置，每个盒子具有从卸载单元的外部以规则间隔装载于其上的清洗对象；夹紧装置，用于拾取由所述传送器传送至拾取位置的盒子；升降机，其上安装有所述夹紧装置，以使所拾取的盒子朝着第一推动器竖直运动；以及水平传送机器人，用于一步一步地移动所述升降机，从而将所述夹紧装置接连地定位在第一定位单元的每个引导件的前面，其中，所述装载单元包括：夹紧装置，用于从所述可转动传送单元拾取空盒子；升降机，具有安装至其上的夹紧装置，以便将由此拾取的空盒子竖直地移动至所述第二推动器；水平传送机器人，用于一步一步地传送所述升降机，从而将夹紧装置接连地定位在第二定位单元的每个引导件的前面；以及传送器，用于从所述升降机接收空盒子，并且在由所述第二推动器将全部清洗后的清洗对象装载在空盒子中的情况下，将空盒子排出至等离子体清洗设备的外部。