发明名称 | 狭缝式多气体输运喷头结构 | ||
摘要 | 本发明公开了一种狭缝式多气体输运喷头结构,包括喷头,喷头上设有若干进气管道、若干辅助气路管道、第一匀气孔板、第二匀气孔板及导流板,进气管道管壁与辅助气路管道空间连通,第一匀气孔板外侧设有若干相互平行的进气管道,第一匀气孔板内侧相邻进气管道之间设有与进气管道平行的导流板,所述导流板连接第一匀气孔板及第二匀气孔板后向下延伸。本发明能有效减少预反应的发生,提高反应效率,且当喷头的长度增加时,增加对应的辅助气路管道的数量,实现气流的浓度和速度均匀分布,从而满足大规模生产设备的需要。 | ||
申请公布号 | CN102154691B | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
申请号 | CN201110142242.0 | 申请日期 | 2011.05.30 |
申请人 | 东莞市中镓半导体科技有限公司 | 发明人 | 李燮;刘鹏;陆羽;张国义;孙永健;赵红军;袁志鹏 |
分类号 | C30B25/14(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/14(2006.01)I |
代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 谭一兵 |
主权项 | 一种狭缝式多气体输运喷头结构,包括喷头(1),其特征在于:所述喷头(1)上设有若干进气管道(10)、若干辅助气路管道(20)、第一匀气孔板(30)、第二匀气孔板(40)及导流板(50),所述进气管道(10)管壁与辅助气路管道(20)空间连通,所述第一匀气孔板(30)外侧设有若干相互平行的进气管道(10),所述第一匀气孔板(30)横切相交进气管道(10),所述第一匀气孔板(30)内侧下面设有平行的第二匀气孔板(40),第一匀气孔板(30)上与进气管道(10)横切相交处开设有第一气孔(31),所述第二匀气孔板(40)上开设有若干第二气孔(41),第一匀气孔板(30)内侧相邻进气管道(10)之间设有与进气管道(10)平行的导流板(50),所述导流板(50)连接第一匀气孔板(30)及第二匀气孔板(40)后向下延伸。 | ||
地址 | 523518 广东省东莞市企石镇科技工业园 |