利用光学基准的方法和器件

摘要

一种晶片测试和修整结构，用于利用粗略和精细修整段进行多腿修整以及用于灵活地能量控制，以有效地维持针对粗略和精细修整所优化的稳定脉冲能量和修整速率。所述系统包括晶片探测系统、马达驱动定位系统、操作测试接口的控制器、配置用于从所述探针观看系统接收图像的图像获取硬件、用于确定所获取图像的探针头和激光光斑位置的图像处理软件、以及探针摄像机和透镜照射器的可编程照射控制。

主权项

一种将第一元件与第二元件对齐的方法，所述方法包括：确定第二元件在基准区域内的相对位置；生成与基准区域内预定位置相交的光学基准光束；检测第一元件在基准区域内的相对位置；以及将第一元件与第二元件对齐，其中第一元件是探针元件；第二元件是器件接口元件；以及将第一元件与第二元件对齐包括：基于检测到的探针元件在基准区域内的位置和已经确定的器件接口元件的位置，将基准区域内的器件接口元件与探针元件对齐，其中，确定器件接口元件相对于基准区域的相对位置还包括：检测承载有器件接口元件的基准特征相对于基准区域的位置；以及基于检测到的基准特征的位置和器件接口元件相对于基准特征的预定位置，确定器件接口元件的位置，其中，基于检测到的基准特征的位置和器件接口元件相对于基准特征的预定位置来确定器件接口元件的位置包括：使用至少一个视场位于基准区域内的第一摄像机，检测基准区域内承载有器件接口元件的基准特征的位置，检测基准区域内探针元件相对于光学基准光束的位置包括：i)将光学基准光束定位在基准区域内的预定位置；ii)定位基准区域内第二摄像机的视场；iii)当光学基准光束位于基准区域内的预定位置时，在视场内形成光学基准光束的图像；iv)在视场内形成与探针卡相关联的一个或多个探针头梢的图像，所述探针元件是一个或多个探针头之一；v)确定视场内光学基准光束图像的位置；以及vi)确定视场内至少一个探针头梢的位置。