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发明名称
SILICON CARBIDE SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
EP2432002(A4)
申请公布日期
2012.11.21
申请号
EP20100774828
申请日期
2010.04.27
申请人
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
发明人
HARADA, SHIN;SASAKI, MAKOTO;NISHIGUCHI, TARO;NAMIKAWA, YASUO;FUJIWARA, SHINSUKE
分类号
H01L21/02;C30B23/00;C30B29/36;C30B33/06;H01L21/20;H01L29/04;H01L29/16;H01L29/66;H01L29/739;H01L29/78
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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