抗反射涂层以及具有该涂层的太阳能电池和太阳能模块

摘要

本发明涉及一种抗反射涂层（5a）、太阳能电池和太阳能模块。根据本发明的抗反射涂层（5a）至少包括具有高折射率的第一SiNx层（10）和具有较低折射率的第二SiNx层（11）。从而在叠入式太阳能模块中也能实现太阳能电池的更好光耦合和更好的钝化以及更均质和更深的颜色印象，同时对典型的工艺差异不敏感。

主权项

一种抗反射涂层（5a；5b），具体地针对基于硅的以及优选地针对多晶或单晶硅的太阳能电池（1）、太阳能模块等，该抗反射涂层包括SiNx层（10,11；20,21,22），特征在于抗反射涂层（5a；5b）至少包括具有高折射率的第一SiNx层（10；20）和具有低折射率的第二SiNx层（11；22），并且所述第一SiNx层（10；20）和第二SiNx层（11；22）具体地为SiNx:H层（10,11；20,22）。