发明名称 | 树脂模具 | ||
摘要 | 提供与基材的密合性优异、与转印材料树脂之间的脱模性优异、且树脂模具本身的耐久性优异、能经受对转印材料树脂的重复转印的树脂模具。本发明的树脂模具是表面具有微细凹凸结构的树脂模具,其特征在于,树脂模具表面部的氟元素浓度(Es)在构成树脂模具的树脂中的平均氟元素浓度(Eb)以上。 | ||
申请公布号 | CN102791452A | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
申请号 | CN201180012708.3 | 申请日期 | 2011.03.09 |
申请人 | 旭化成株式会社 | 发明人 | 松本真治;古池润 |
分类号 | B29C33/38(2006.01)I;B29C33/58(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | B29C33/38(2006.01)I |
代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 徐申民;李晓 |
主权项 | 一种树脂模具,是表面具有微细凹凸结构的树脂模具,其特征在于,树脂模具表面部的氟元素浓度(Es)在构成树脂模具的树脂中的平均氟元素浓度(Eb)以上。 | ||
地址 | 日本国大阪府大阪市北区中之岛三丁目3番23号 |