发明名称 树脂模具
摘要 提供与基材的密合性优异、与转印材料树脂之间的脱模性优异、且树脂模具本身的耐久性优异、能经受对转印材料树脂的重复转印的树脂模具。本发明的树脂模具是表面具有微细凹凸结构的树脂模具,其特征在于,树脂模具表面部的氟元素浓度(Es)在构成树脂模具的树脂中的平均氟元素浓度(Eb)以上。
申请公布号 CN102791452A 申请公布日期 2012.11.21
申请号 CN201180012708.3 申请日期 2011.03.09
申请人 旭化成株式会社 发明人 松本真治;古池润
分类号 B29C33/38(2006.01)I;B29C33/58(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I 主分类号 B29C33/38(2006.01)I
代理机构 上海市华诚律师事务所 31210 代理人 徐申民;李晓
主权项 一种树脂模具,是表面具有微细凹凸结构的树脂模具,其特征在于,树脂模具表面部的氟元素浓度(Es)在构成树脂模具的树脂中的平均氟元素浓度(Eb)以上。
地址 日本国大阪府大阪市北区中之岛三丁目3番23号