涂敷装置

摘要

本发明涉及一种涂敷装置，喷嘴从其前端部以液柱状态喷出涂敷液；载物台将基板装载在其上表面上；喷嘴移动机构在载物台上的空间中，在横穿该载物台面的方向上使喷嘴进行往复移动；液体接受部，其包括有倾斜面，在喷嘴移动机构使喷嘴沿着横穿的方向移动并由该喷嘴向着从载物台上偏离的位置喷出涂敷液时，接受从该喷嘴向载物台外喷出的涂敷液。倾斜面在配置于从载物台上偏离的位置处的喷嘴的前端部的垂直下方的位置，向着横穿的方向延伸设置，并相对于与该横穿的方向相垂直的水平方向而倾斜。液体接受部使配置于从载物台上偏离的位置处的喷嘴所喷出的涂敷液以液柱状态涂敷附着于倾斜面上进行回收。

主权项

一种涂敷装置，是通过对基板上喷出涂敷液来涂敷该涂敷液的涂敷装置，其中该涂敷液是朝向铅垂下方呈直线棒状的液柱状态的涂敷液，其特征在于，该涂敷装置包括：喷嘴，从其前端部以所述液柱状态喷出所述涂敷液；载物台，其上表面用于装载所述基板；喷嘴移动机构，其在所述载物台上的空间中，在横穿该载物台面的方向上使所述喷嘴进行往复移动；液体接受部，其在所述喷嘴移动机构使所述喷嘴沿着所述横穿的方向移动并由该喷嘴向着从所述载物台上偏离的位置喷出所述涂敷液时，接受从该喷嘴向所述载物台外喷出的所述涂敷液，所述液体接受部包括有倾斜面，该倾斜面在配置于从所述载物台上偏离的位置处的所述喷嘴的前端部的垂直下方的位置，向着所述横穿的方向延伸设置，并相对于与该横穿的方向相垂直的水平方向而倾斜，所述液体接受部使配置于从所述载物台上偏离的位置处的所述喷嘴所喷出的涂敷液以所述液柱状态涂敷附着于所述倾斜面上进行回收，所述液体接受部还包括有吸引装置，该吸引装置对涂敷液在所述倾斜面上涂敷附着的位置附近的空间的气体进行吸引，所述吸引装置具有至少一个吸引口，该吸引口位于涂敷液在所述倾斜面上涂敷附着的位置的下方，对该倾斜面上部空间的气体进行吸引，所述液体接受部还包括有隔开构件，该隔开构件与所述倾斜面隔开规定的间隔而与该倾斜面平行，并固定设置在所述倾斜面的上部空间的一部分中，所述吸引口设置于所述倾斜面的下端与所述隔开构件之间。