发明名称 |
一种固晶方法 |
摘要 |
本发明涉及半导体封装技术,尤其涉及一种固晶方法,包括以下步骤:S10,提供带铜柱的胶壳;S20,提供Au/Sn共晶片,将Au/Sn共晶片置于铜柱端部;S30,超声熔化Au/Sn共晶片;S40,提供LED芯片,将LED芯片置于铜柱端部;其中,S30与S40之时间间隔为0.01s至0.25s之间。本发明提供一种过程结构简洁的固晶方法。 |
申请公布号 |
CN102163654B |
申请公布日期 |
2012.11.21 |
申请号 |
CN201010618855.2 |
申请日期 |
2010.12.31 |
申请人 |
东莞市万丰纳米材料有限公司 |
发明人 |
李金明 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I;H01L33/62(2010.01)I;H01L33/48(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 |
代理人 |
赵彦雄 |
主权项 |
一种固晶方法,其特征在于包括以下步骤:S10,提供带铜柱的胶壳;S20,提供Au/Sn共晶片,将Au/Sn共晶片置于铜柱端部;S30,超声熔化Au/Sn共晶片;S40,提供LED芯片,将LED芯片置于铜柱端部;其中,S30与S40之时间间隔为0.01s至0.25s之间;所述S30步骤与S40步骤是在一个工位完成的,其工作空间充氮气保护;执行S30步骤及S40步骤时,所述铜柱的另一端抵接弹性冷却棒,弹性冷确棒的连接冷交换装置,以维持弹性冷确棒的温度设定为4°C至10°C。 |
地址 |
523000 广东省东莞市企石镇东平村大帽岭 |