防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法

摘要

本发明提供一种防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法，该防尘薄膜组件剥离用夹具针对光罩具备固定构件，针对防尘薄膜组件具备粘接层，固定光罩与防尘薄膜组件相互之间的位置关系，在固定状态下将遮罩粘接层拉出并除去。本发明所述的简便的夹具以及剥离方法，能够以简易且安全的方式剥离贴附于光罩上的防尘薄膜组件。

主权项

一种防尘薄膜组件剥离用夹具，其在从光罩将防尘薄膜组件剥离时使用，其特征为，包括：固定构件，由第1臂部与第2臂部所构成，该第1臂部具备与该光罩抵接的抵接面，该第2臂部具备推压构件，该推压构件由螺纹构件所构成，通过该第2臂部的推压构件将该光罩向该第1臂部的抵接面推压，而将该防尘薄膜组件剥离用夹具固定在该光罩上；以及粘接层，其用来将该防尘薄膜组件剥离用夹具固定于该防尘薄膜组件上。