防止基板变形

摘要

一种防止由于热应力或沉积应力而变形的基板，包括：设置在该基板一个表面上的变形防止层。该基板可以包括设置在该基板的一个表面上的薄膜晶体管和变形防止层，该变形防止层设置在该基板的另一个表面上并包括至少一层。

主权项

一种薄膜晶体管基板，包括：基板；设置在所述基板的一个表面上的薄膜晶体管；设置在所述基板的所述一个表面的整个区域上以覆盖所述薄膜晶体管的保护膜；变形防止层，所述变形防止层设置在所述基板的另一个表面上；和设置在所述基板的所述一个表面上的平整层，其中，所述变形防止层包括材料和厚度与所述保护膜的材料和厚度相同的层，并且其中所述薄膜晶体管设置在所述平整层上，所述变形防止层进一步包括材料和厚度与所述平整层的材料和厚度相同的另一层。