发明名称 |
具有绒面的铜铟镓硒薄膜电池及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种铜铟镓硒薄膜电池及其制备方法。该铜铟镓硒薄膜电池,包括依次叠合的玻璃衬底、金属背电极层、光吸收层、缓冲层、阻挡层及窗口层,所述玻璃衬底、金属背电极层、光吸收层、缓冲层、阻挡层及窗口层的表面均为粗糙度相同的绒面。上述铜铟镓硒薄膜电池的玻璃衬底表面为绒面,生长得到的薄膜电池表面不平整,从而起到陷光作用。当太阳光入射时,由于绒面结构的存在,其入射光会与电池表面形成一定角度,从而增加光生载流子在P-N结区产生的几率,最终提高光生电流。 |
申请公布号 |
CN102231398B |
申请公布日期 |
2012.11.21 |
申请号 |
CN201110179746.X |
申请日期 |
2011.06.29 |
申请人 |
中国科学院深圳先进技术研究院 |
发明人 |
李玉飞;肖旭东;宋秋明;杨春雷;卢兰兰 |
分类号 |
H01L31/052(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/052(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
吴平 |
主权项 |
一种铜铟镓硒薄膜电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:在玻璃衬底的表面制作形成绒面;及在所述绒面上依次形成金属背电极层、光吸收层、缓冲层、阻挡层及窗口层,以使所述金属背电极层、光吸收层、缓冲层、阻挡层及窗口层的表面均形成为与所述玻璃衬底的粗糙度相同的绒面;所述在玻璃衬底的表面制作形成绒面的步骤包括:步骤一、在所述玻璃衬底的表面溅镀一层厚度为200~500纳米的铝膜,形成样品;步骤二、将步骤一的样品放到石英管中,用碘钨灯在2~3分钟内将所述覆有铝膜的玻璃衬底加热到550~600℃,然后退火30分钟;步骤三、将步骤二的样品放入到温度为110℃,体积浓度为85%的磷酸溶液中,清洗5分钟;步骤四、将步骤三的样品放入体积比为1:1的氢氟酸和硝酸的混合液中,蚀刻10~20秒;及步骤五、将步骤四的样品放入到去离子水中,超声清洗5~10分钟。 |
地址 |
518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 |