带扫描探针显微镜的测量系统的操作方法及测量系统

摘要

本发明涉及操作包含扫描探针显微镜特别是原子力显微镜的测量系统的方法，还涉及利用扫描探针显微镜检查测量样本和在光学上检查所述样本的测量系统。在所述方法中，在显示设备上显示待检查的测量样本的测量横截面的光学图像，通过光学记录装置来记录所述图像，所述光学图像的位置选择被检测，并且对于扫描探针测量，利用移动设备来移动为扫描探针测量而设置的测量探针到测量位置，移动设备将测量探针和测量样本相对于彼此移动，由于根据坐标变换来控制移动设备，测量位置根据坐标变换被指定到光学图像中选择的位置，其中，利用坐标变换形成光学图像的坐标系与被测量探针和测量样本的移动位置覆盖的空间的坐标系之间的先前确定的指定，其中移动位置包括测量位置。

主权项

一种操作具有扫描探针显微镜的测量系统的方法，其中：‑通过光学记录装置记录待检查的测量样本的测量横截面的光学图像，‑根据先前确定的坐标变换来变换所述光学图像，所述坐标变换是所述光学图像的坐标系与被测量探针和测量样本的移动位置覆盖的空间的坐标系之间的指定，‑在显示设备上显示经过变换的光学图像，‑检测所述经过变换的光学图像中位置的选择，以及‑对于扫描探针测量，通过根据所述坐标变换控制移动设备，通过所述移动设备将为所述扫描探针测量而设置的所述测量探针移动到测量位置，所述移动设备将所述测量探针与所述测量样本相对于彼此移动，所述测量位置被包括在所述移动位置中并且根据所述坐标变换将所述测量位置指定为所述经过变换的光学图像中所选择的位置。