复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法

摘要

一种机械加工技术领域的金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，通过将预处理后的复杂形状硬质合金刀具的刀柄插入刀具冷却底座，将安装好刀具的三明治式底座放在热丝CVD设备水冷工作台上；采用上下两行热丝且上行热丝高度与所述硬质合金刀具的刀尖相同，下行热丝的高度正对刀具的刀刃底部，通入氢气和丙酮并在复杂形状硬质合金刀具表面沉积金刚石涂层。本发明能够有效降低刀刃处衬底表面温度，但不降低沉积速率，同时又能提高金刚石涂层质量。

主权项

一种复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、将预处理后的复杂形状硬质合金刀具的刀柄插入刀具冷却底座，将安装好刀具的三明治式底座放在热丝CVD设备水冷工作台上；所述的刀具冷却底座由矩形钼片、紫铜板和石墨板依次叠加构成三明治式结构，该刀具冷却底座上设有与刀柄直径和长度相匹配的钻孔；第二步、采用上下两行热丝且上行热丝高度与所述硬质合金刀具的刀尖相同，下行热丝的高度正对刀具的刀刃底部，通入氢气和丙酮并在复杂形状硬质合金刀具表面沉积金刚石涂层。