防污染粒子计数器

摘要

本实用新型涉及一种防污染粒子计数器，包括内腔（9）上端连有粒子流上通道（2）、下端连有粒子流下通道（7）并伸入内腔中与粒子流上通道（2）对应配合，粒子流下通道（7）下端依次连有泵前过滤器（8）、抽气泵（11）、采样气流通道（12）以及采样流量计（15），其特征在于：内腔（2）上端设有一个套管（10）与粒子流上通道（2）呈间隙配合，套管（10）通过清洁气流管道（13）与采样气流通道（12）联通，清洁气流管道（13）中连接HEPA过滤器、清洁气流流量计（16）。本实用新型的优点是：通过套管与粒子流上通道形成的环形间隙通道，将清洁气流包围采样粒子流与之同步流动，一是护住粒子流不让其扩散，而达到防污染目的，同时又不影响正常的检测功能。

主权项

一种防污染粒子计数器，包括内腔（9），内腔上端连有采样粒子流入口（1）以及粒子流上通道（2），粒子流上通道（2）伸入到内腔中，内腔下端连有粒子流下通道（7）并伸入内腔中与粒子流上通道（2）对应配合，粒子流下通道（7）另一端依次连有泵前过滤器（8）、抽气泵（11），抽气泵（11）另一端连有采样气流通道（12）以及采样流量计（15），其特征在于：内腔（2）上端设有一个套管（10），粒子流上通道（2）处于套管（10）中呈间隙配合，套管（10）通过清洁气流管道（13）与采样气流通道（12）联通，其中清洁气流管道（13）中依次连接HEPA过滤器、清洁气流流量计（16）。