| 发明名称 | 一种掩膜板和掩膜板系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型实施例提供一种掩膜板和掩膜板系统，涉及光刻技术领域，用以使得一个掩膜板可调变呈现不同图案，从而减少在制造中使用掩膜板的数量。所述掩膜板包括：图案显示屏，用于呈现掩膜图案；控制单元，用于根据光刻工艺中所需的掩膜图案的灰阶信息控制所述图案显示屏在不同区域的光透过量，以呈现所述掩膜图案。本实用新型实施例可应用于液晶显示器的生产。 | ||
| 申请公布号 | CN202548530U | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
| 申请号 | CN201220006968.1 | 申请日期 | 2012.01.09 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 李文波;王刚 |
| 分类号 | G03F1/00(2012.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G02F1/1335(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I;G02F1/1343(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/00(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种掩膜板，其特征在于，包括：图案显示屏，用于呈现掩膜图案；控制单元，用于根据光刻工艺中所需的掩膜图案的灰阶信息控制所述图案显示屏在不同区域的光透过量，以呈现所述掩膜图案。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||