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发明名称
摘要
申请公布号 JP5078201(B2) 申请公布日期 2012.11.21
申请号 JP20010208711 申请日期 2001.07.10
申请人 发明人
分类号 G02F1/1368;H01L21/20;G09F9/30;H01L21/3205;H01L21/322;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 G02F1/1368
代理机构 代理人
主权项
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