| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING SILICON COMPOUND |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1884987(A4) |
申请公布日期 |
2012.11.21 |
| 申请号 |
EP20060746497 |
申请日期 |
2006.05.17 |
| 申请人 |
CANON ANELVA CORPORATION |
发明人 |
OOBA, YOSHIYUKI;SAKAMOTO, HITOSHI |
| 分类号 |
H01L21/285;C01B33/06;C23C16/32;C23C16/42;C23C16/44;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;H01L31/04 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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