一种在平面子孔径拼接测量中调整被测镜倾斜的装置和方法

摘要

本发明公开了一种在平面子孔径拼接测量中调整被测镜倾斜的装置和方法，该装置包括菲索移相干涉仪，标准镜，半透半反镜，被测镜，激光自准直仪，二维平移台，倾斜调整装置，转台，平面反射镜，计算机，探测器和聚焦透镜，利用该装置在第一子孔径位置处进行调平，并建立被测镜和标准镜平行的基准点，然后再在其它子孔径位置处，以此基准点为基准计算被测镜的倾斜量，然后再对被测镜的位姿进行调整，从而减小子孔径面形中的倾斜量，提高平面子孔径拼接测量的精度。

主权项

一种在平面子孔径拼接测量中调整被测镜倾斜的装置，其特征在于：包括菲索移相干涉仪（101），标准镜（102），半透半反镜（103），被测镜（104），激光自准直仪（105），二维平移台（106），倾斜调整装置（107），转台（108），平面反射镜（109），计算机（110），探测器（111）和聚焦透镜（112），其中转台（108）、二维平移台（106）、倾斜调整装置（107）的中心有一通光孔（113）；半透半反镜（103）与菲索移相干涉仪（101）的光轴成45度夹角，平面反射镜（109）与转台的转轴成45度夹角；探测器（111）放在聚焦透镜（112）的焦点处；计算机（110）分别与菲索移相干涉仪（101）、探测器（111）、转台（108）、二维平移台（106）、倾斜调整装置（107）相连接，用来控制菲索移相干涉仪（101）、探测器（111）、转台（108）、二维平移台（106）和倾斜调整装置（107）；从激光自准直仪（105）发出的光经平面反射镜（109）反射后通过所述的转台（108）、二维平移台（106）、倾斜调整装置（107）的中心的通光孔（113），利用激光自准直仪（105）进行监测，调节倾斜调整装置（107），使转台（108）的台面与标准镜（102）平行；菲索移相干涉仪（101）中发出的光线穿过标准镜（102）、半透半反镜（103），并在被测镜（104）的上表面反射，然后再经半透半反镜（103）反射后到达聚焦透镜（112），再经聚焦透镜（112）聚焦后到达探测器（111）。