| 发明名称 | 化合物、树脂、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供化合物、树脂、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述化合物是由式(I)表示的化合物，其中，T<sup>1</sup>表示单键或C6-C14芳族烃基；L<sup>1</sup>表示C1-C17二价饱和烃基，其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替；L<sup>2</sup>和L<sup>3</sup>各自独立地表示单键或C1-C6二价饱和烃基，其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替；环W<sup>1</sup>和环W<sup>2</sup>各自独立地表示C3-C36烃环；R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地表示氢原子、羟基或C1-C6烷基；R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>各自独立地表示羟基或C1-C6烷基；R<sup>5</sup>表示羟基或甲基；m表示0或1；并且t和u各自独立地表示0至2的整数。<img file="dda00001644937400011.GIF" wi="1393" he="270" /> | ||
| 申请公布号 | CN102786419A | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
| 申请号 | CN201210152086.0 | 申请日期 | 2012.05.16 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 市川幸司;吉田勋 |
| 分类号 | C07C69/757(2006.01)I;C07C69/54(2006.01)I;C07C69/76(2006.01)I;C08F222/14(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F222/20(2006.01)I;C08F122/18(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | C07C69/757(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李新红 |
| 主权项 | 1.一种由式(I)表示的化合物：<img file="FDA00001644937200011.GIF" wi="1392" he="269" />其中T<sup>1</sup>表示单键或C6-C14芳族烃基，L<sup>1</sup>表示C1-C17二价饱和烃基，其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替，L<sup>2</sup>和L<sup>3</sup>各自独立地表示单键或C1-C6二价饱和烃基，其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替，环W<sup>1</sup>和环W<sup>2</sup>各自独立地表示C3-C36烃环，R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>各自独立地表示氢原子、羟基或C1-C6烷基，R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>各自独立地表示羟基或C1-C6烷基，R<sup>5</sup>表示羟基或甲基，m表示0或1，并且t和u各自独立地表示0至2的整数。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||