紫外激光加工系统

摘要

本发明涉及一种激光加工光学系统，包括沿激光出射光路上依次设置的扩束镜、第一滤光反光镜以及聚焦镜头；所述扩束镜可在垂直于激光光轴的平面绕光轴旋转，扩束倍数随旋转而改变。上述紫外激光加工系统通过旋转扩束镜来调整扩束倍数，从而实现对刻划的线宽进行调整，且刻划出的线条均匀、清晰。

主权项

一种激光加工光学系统，其特征在于，包括沿激光出射光路上依次设置的扩束镜、第一滤光反光镜以及焦距为15mm的聚焦镜头；所述扩束镜可在垂直于激光光轴的平面绕光轴旋转，扩束倍数为1‑10倍，加工划线宽度为0.004mm‑0.04mm，波长为355nm；所述扩束镜包括沿激光出射光路上依次设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜；所述第一透镜、第二透镜和第三透镜均为柱面镜；所述第一透镜和第二透镜为平凹型透镜，且凹面分别为激光出射的第二曲面和第四曲面；所述第三透镜为平凸型透镜，且凸面为激光出射的第六曲面；所述第一透镜激光入射的第一曲面曲率半径为无穷大，凹面的曲率半径为3mm±5％，所述第一透镜的中心厚度为1mm±5％，折射率/阿贝数为(1.46/68)±5％；所述第二透镜激光入射的第三曲面曲率半径为无穷大，凹面的曲率半径为100mm±5％，所述第二透镜的中心厚度为2mm±5％，折射率/阿贝数为(1.6/41)±5％；所述第三透镜激光入射的第五曲面曲率半径为无穷大，凸面的曲率半径为‑28mm±5％，所述第三透镜的中心厚度为3mm±5％，折射率/阿贝数为(1.6/41)±5％；所述第二曲面和第三曲面的中心间隔为50mm±5％，所述第四曲面和第五曲面的中心间隔为1mm±5％。