发明名称 用线锯切断工件的切断方法以及线锯
摘要 本发明提供一种用线锯切断工件的切断方法,利用用于将线锯的锯丝张力接近于指定的目标张力的张力调节装置,一边只将卷取侧的锯丝张力有效地降低,一边有效率且高精度地进行工件的切断。该方法包括:一边使锯丝(W)前进,一边切断工件(28)的前进驱动切断工序;用于使锯丝(W)的驱动方向反转的第1切换工序;一边使锯丝(W)后退,一边切断工件(28)的后退驱动切断工序;用于使锯丝(W)的驱动方向反转而返回到上述前进驱动切断工序的第2切换工序,这些工序依次反复执行。在上述两个切断工序中,利用张力操作装置(18A、18B)只降低卷取侧的锯丝张力。为此而进行的锯丝目标张力的降低,在各切换工序中锯丝(W)的减速结束之后进行。
申请公布号 CN102791426A 申请公布日期 2012.11.21
申请号 CN201080063198.8 申请日期 2010.02.08
申请人 东洋先进机床有限公司 发明人 大矢纯;滨崎辰己;吉村浩幸;福万胜
分类号 B24B27/06(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 主分类号 B24B27/06(2006.01)I
代理机构 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人 李雪春;武玉琴
主权项 一种用线锯切断工件的切断方法,利用从锯丝送出装置送出的切断用锯丝卷绕于多个导轮的周围并被锯丝卷取装置卷取的线锯,一边将在导轮之间排列的多根锯丝朝向轴方向驱动,一边将工件与这些锯丝进行相对移动而切断送出,从而切断该工件,其特征在于包括以下工序:前进驱动切断工序,进行上述工件的切断,在该前进驱动切断工序中,从上述锯丝送出装置送出上述锯丝且由上述锯丝卷取装置卷取该锯丝,并且,通过向从上述锯丝送出装置送出的锯丝按压送出侧张力赋予构件而将该锯丝的张力调节为接近于第1目标张力,且通过向由上述锯丝卷取装置卷取的锯丝按压卷取侧张力赋予构件而将该锯丝的张力调节为接近于比上述第1目标张力低的第2目标张力;后退驱动切断工序,进行上述工件的切断,在该后退驱动切断工序中,由上述锯丝卷取装置卷取的上述锯丝反而从该锯丝卷取装置送出且由上述锯丝送出装置卷取该锯丝,并且,通过向从上述锯丝卷取装置送出的锯丝按压上述卷取侧张力赋予构件而将该锯丝的张力调节为接近于比上述第2目标张力高的第3目标张力,且通过向由锯丝送出装置卷取的锯丝按压上述送出侧张力赋予构件而将该锯丝的张力调节为接近于比上述第1目标张力及上述第3目标张力低的第4目标张力;第1切换工序,在上述前进驱动切断工序后使上述锯丝的驱动速度减速,进而使其驱动方向逆转后使该锯丝的驱动速度加速,从而转移到上述后退驱动切断工序;第2切换工序,在上述后退驱动切断工序后使上述锯丝的驱动速度减速,在使其驱动方向逆转后使该锯丝的驱动速度加速,从而转移到上述前进驱动切断工序,其中,上述前进驱动切断工序、上述第1切换工序、上述后退驱动切断工序、以及上述第2切换工序依次反复被执行,在上述第1切换工序,在上述锯丝的驱动速度的减速过程中,以将上述锯丝卷取装置侧的锯丝的目标张力从上述第2目标张力提高至上述第3目标张力的方式,通过上述卷取侧张力赋予构件进行上述锯丝的张力调节,且在该锯丝的驱动速度的减速完成后,以将上述锯丝送出装置侧的锯丝的目标张力从上述第1目标张力降低至上述第4目标张力的方式,通过上述送出侧张力赋予构件进行上述锯丝的张力调节。
地址 日本广岛县