PECVD的石英管用锁紧装置

摘要

本实用新型提供了一种PECVD的石英管用锁紧装置，包括设有卡槽的法兰和套设于石英管上的密封组件，卡槽包括相连通的轴向段和周向段；套设于石英管上的第一锁件，第一锁件包括连接段和可外套于法兰的锁紧段，锁紧段内设置有可沿卡槽移动的锁柱；可卡设于第一锁件内部，能够被限制沿远离法兰的方向移动的第二锁件，第二锁件包括套设于密封组件上的密封段和套设于石英管上，且端面与密封组件相抵接触的固定段。上述PECVD的石英管用锁紧装置，实现了对石英管的锁紧，需要拆卸石英管时固定第二锁件、旋转第一锁件使锁柱脱离卡槽，实现了对石英管的完整拆卸，降低了工作人员的劳动强度，提高了石英管的再利用率，降低了光伏电池的生产成本。

主权项

一种PECVD的石英管用锁紧装置，包括设有卡槽(51)的法兰(5)和套设于所述石英管(1)上的密封组件(4)，所述卡槽(51)包括相连通的轴向段和周向段，其特征在于，该石英管用锁紧装置还包括：套设于所述石英管(1)上的第一锁件(2)，所述第一锁件(2)包括连接段(22)和可外套于所述法兰(5)的锁紧段(21)，所述锁紧段(21)内部设置有可沿所述卡槽(51)移动的锁柱(211)；可卡设于所述第一锁件(2)内部，能够被限制沿远离所述法兰(5)的方向移动的第二锁件(3)，所述第二锁件(3)包括套设于所述密封组件(4)上的密封段(31)和套设于所述石英管(1)上，且端面与所述密封组件(4)相抵接触的固定段(32)。