Illumination system for electron beam lithography tool,申请号EP20000308685-传众专利搜索

发明名称	Illumination system for electron beam lithography tool
摘要
申请公布号	EP1091386(B1)	申请公布日期	2012.11.21
申请号	EP20000308685	申请日期	2000.10.03
申请人	LUCENT TECHNOLOGIES INC.	发明人	KATSAP, VICTOR;KRUIT, PETER;MOONEN, DANIEL;WASKIEWICZ, WARREN KAZMIR
分类号	G21K5/04;H01J37/065;G03F7/20;H01J37/12;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027	主分类号	G21K5/04
代理机构		代理人
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