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发明名称 MEMS SPRUNG CANTILEVER TUNABLE CAPACITORS AND METHODS
摘要
申请公布号 EP2524383(A2) 申请公布日期 2012.11.21
申请号 EP20110733466 申请日期 2011.01.14
申请人 WISPRY, INC. 发明人 DEREUS, DANA
分类号 H01G5/16;B81B3/00 主分类号 H01G5/16
代理机构 代理人
主权项
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