发明名称 USE OF A PRESSURE OPERATED CERAMIC HEAT EXCHANGER AS AN INTEGRAL COMPONENT OF A SYSTEM FOR CONVERTING SILICON TETRACHLORIDE TO TRICHLOROSILANE
摘要
申请公布号 KR20120127413(A) 申请公布日期 2012.11.21
申请号 KR20127018697 申请日期 2010.12.16
申请人 发明人
分类号 C01B33/027;C01B33/107 主分类号 C01B33/027
代理机构 代理人
主权项
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