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发明名称 Antireflective coating compositions
摘要
申请公布号 KR101203219(B1) 申请公布日期 2012.11.20
申请号 KR20090035488 申请日期 2009.04.23
申请人 发明人
分类号 G03F7/11;B05D1/36;B05D5/06;G03F7/09;H01L21/027 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
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