发明名称 КОНТАКТИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАСТИН ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ
摘要 Контактирующее устройство для измерения вольт-амперных характеристик пластин фотопреобразователя, включающее подвижное удерживающее устройство с предметным столиком для размещения пластины, регулятором температуры предметного столика и датчиком температуры, отличающееся тем, что предметный столик снабжен вакуумируемой полостью, сообщающейся с регулятором вакуума и опорной поверхностью предметного столика посредством каналов, а регулятор температуры выполнен в виде элемента Пельтье и размещен в основании предметного столика.
申请公布号 RU122202(U1) 申请公布日期 2012.11.20
申请号 RU20120129850U 申请日期 2012.07.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址