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发明名称 Apparatus for chemical vapor deposition
摘要
申请公布号 KR101202437(B1) 申请公布日期 2012.11.16
申请号 KR20100131881 申请日期 2010.12.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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