| 摘要 |
<p>Eine Verlagerungsdetektionsvorrichtung umfasst: ein Beugungsgitter mit einer trapezförmigen oder rechteckigen Reliefform; ein optisches Bestrahlungssystem mit einem Lichtquellenabschnitt zum Emittieren von kohärentem Licht und einem Strahlteiler zum Aufteilen des vom Lichtquellenabschnitt emittierten Lichts in zwei Strahlen, das dazu ausgelegt ist, die zwei Strahlen auf das Beugungsgitter als p-polarisiertes Licht abzustrahlen; ein optisches Reflexionssystem, das dazu ausgelegt ist, zwei erste gebeugte Lichtbündel, die erzeugt werden, wenn die zwei Strahlen durch das Beugungsgitter gebeugt werden, zu reflektieren und zu bewirken, dass die ersten gebeugten Lichtbündel wieder auf das Beugungsgitter als p-polarisiertes Licht einfallen, um zwei zweite gebeugte Lichtbündel zu erzeugen; ein optisches Interferenzsystem, das dazu ausgelegt ist zu bewirken, dass die zwei zweiten gebeugten Lichtbündel miteinander interferieren, um Interferenzlicht zu erhalten; einen Lichtempfangsabschnitt, der dazu ausgelegt ist, das Interferenzlicht zu empfangen; und einen Positionsinformations-Detektionsabschnitt, der dazu ausgelegt ist, Positionsinformationen des Beugungsgitters auf der Basis eines Interferenzsignals zu detektieren. Die Periode des Reliefs des Beugungsgitters ist nicht mehr als 1,5-mal die Wellenlänge des kohärenten Lichts.</p> |
