摘要 |
Druckerfassungsvorrichtung mit einer Metallmembran (1b) zum Aufnehmen von einem Druck, mit einem Einkristallhalbleitersensorchip (2, 4, 5, 2a), der an der Membran (1b) angeordnet ist, und mit einem Dehnungsmeßwiderstand (3a–3d), der an dem Sensorchip (2, 4, 5, 2a) angeordnet ist, worin der Sensorchip (2, 4, 5, 2a) eine Ebenenfläche aufweist, die aus einer Gruppe ausgewählt wird, wobei sie aus einer kreisförmigen Form besteht, wobei eine erste polygonale Form mehr als fünf Seiten und Innenwinkel aufweist, die alle geringer als 180° sind, und eine zweite polygonale Form ein Verhältnis von einem Umkreisdurchmesser in Bezug auf einen Inkreisdurchmeeser von weniger als 1,2 aufweist.
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