发明名称 Druckerfassungsvorrichtung mit Metallmembran
摘要 Druckerfassungsvorrichtung mit einer Metallmembran (1b) zum Aufnehmen von einem Druck, mit einem Einkristallhalbleitersensorchip (2, 4, 5, 2a), der an der Membran (1b) angeordnet ist, und mit einem Dehnungsmeßwiderstand (3a–3d), der an dem Sensorchip (2, 4, 5, 2a) angeordnet ist, worin der Sensorchip (2, 4, 5, 2a) eine Ebenenfläche aufweist, die aus einer Gruppe ausgewählt wird, wobei sie aus einer kreisförmigen Form besteht, wobei eine erste polygonale Form mehr als fünf Seiten und Innenwinkel aufweist, die alle geringer als 180° sind, und eine zweite polygonale Form ein Verhältnis von einem Umkreisdurchmesser in Bezug auf einen Inkreisdurchmeeser von weniger als 1,2 aufweist.
申请公布号 DE19833712(B4) 申请公布日期 2012.11.15
申请号 DE19981033712 申请日期 1998.07.27
申请人 DENSO CORPORATION 发明人 TANIZAWA, YUKIHIKO;HAMAMOTO, KAZUAKI;TOYODA, INAO;TANAKA, HIROAKI;SUZUKI, YASUTOSHI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L19/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
地址