蒸发源装置及镀膜方法

摘要

一种蒸发源装置，其包括：坩埚，其用于承装镀材；收容部，其用于收容该坩埚；火焰加热单元，其设置在该坩埚下方用于加热该坩埚以对盛装在该坩埚内的镀材进行预融；驱动单元，其用于在该火焰加热单元进行加热时驱动该坩埚在该收容部内进行翻转，以使承装在该坩埚内的镀材均匀受热；以及电子束发射源，其用于发射电子束以对预融完成的镀材进行打击使其蒸发。与现有技术相比，本发明所提供的该蒸发源装置采用了火焰加热单元与电子束发射源的电子束打击相结合的方式来蒸发镀材，避免了采用电子束来对镀材进行预融过程中所产生喷药等不良因素的发生。本发明还涉及一种使用上述蒸发源装置的镀膜方法。

主权项

一种蒸发源装置，其包括：坩埚，其用于承装镀材；收容部，其用于收容该坩埚；火焰加热单元，其设置在该坩埚下方用于对盛装在该坩埚内的镀材进行预融；驱动单元，其用于驱动该坩埚在该收容部内进行翻转以使镀材均匀受热；以及电子束发射源，其用于发射电子束对镀材进行打击以蒸发该镀材。