用于高速原子力显微镜的激光检测装置及其检测方法

摘要

本发明公开一种用于高速原子力显微镜的激光检测装置及其检测方法，涉及扫描探针显微成像技术领域。所述的检测方法为由激光器发射出的水平激光束，经分光棱镜反射后向下入射到非球面镜中，经过非球面镜聚焦到探针表面；经探针表面反射的光束再次经过非球面镜，经另一分光棱镜反射最终照射到位置灵敏度探测器上。基于该检测方法，本发明提供的激光检测装置主要包括：激光器固定压片、激光器支撑板、连接板、分光棱镜固定框架、非球面镜镜筒、分光棱镜压板等。采用本发明提供的检测装置，获得激光光斑尺寸小，可以达到16μm以内，比激光束光斑减小50%左右；用于高速原子力显微成像，具有调节容易、使用简单、抗干扰能力强等特点。

主权项

用于高速原子力显微镜的激光检测方法，其特征在于：由激光器发射出的激光束经过激光器透镜准直后，平行于非球面镜主光轴射入非球面镜聚焦到探针表面；经探针表面反射的光束再次经过非球面镜，反射到位置灵敏度探测器上。