一种检测基质内缺陷的方法

摘要

一种检测基质内缺陷的方法，包括：采用第一检测设备提供第一检测光束对基质的检测区域进行扫描；由第一检测设备中的检测器件判断所述检测区域内是否存在缺陷，以及如果所述检测区域内存在缺陷，则确定缺陷的位置；将第二检测设备移至对应于缺陷的位置，采用第二检测光束对基质从第一表面至第二表面进行扫描以获取缺陷位置处第一表面至第二表面垂直方向上的光强信息和光学长度信息；根据缺陷位置处第一表面至第二表面垂直方向上的光强信息和光学长度信息判断缺陷的真伪及缺陷的类型。本发明既提高了检测缺陷的正确率，也确保了缺陷信息的完整性。

主权项

一种检测基质内缺陷的方法，所述基质具有相对的第一表面和第二表面，其特征在于，所述检测基质内缺陷的方法包括：采用第一检测设备提供第一检测光束对基质的检测区域进行扫描；由第一检测设备中的检测器件判断所述检测区域内是否存在缺陷，以及如果所述检测区域内存在缺陷，则确定缺陷的位置；将第二检测设备移至对应于缺陷的位置，采用第二检测光束对基质从第一表面至第二表面进行扫描以获取缺陷位置处第一表面至第二表面垂直方向上的光强信息和光学长度信息；根据缺陷位置处第一表面至第二表面垂直方向上的光强信息和光学长度信息判断缺陷的真伪及缺陷的类型。