压电致动器机构

摘要

提供如下的全长较短且小形的压电致动器机构：适用于光学系统中的反射镜保持架的调整以及直线移动台的可动工作台的定位的自动操作，能够进行高精度的位置/角度调整、找位。本发明的压电致动器机构具有基于进给丝杠（11）和进给丝杠螺母（14）的丝杠进给机构；安装在该进给丝杠螺母（14）的后端面的圆盘形转子（17）；具有与转子（17）的周面接触的压电振子（21）的超声波电动机（18）；以及通过弹簧力被按压到进给丝杠（11）的前端、并且通过该进给丝杠的进给动作进行移位、找位的被动安装部，被动安装部例如是在光学系统中使用的反射镜保持架（1）或直线移动台（10）的可动工作台（21）。

主权项

一种压电致动器机构，其特征在于，具有：基于进给丝杠和进给丝杠螺母的丝杠进给机构；安装在所述进给丝杠螺母的后端面上的圆盘形转子；具有与所述转子的周面接触的压电振子的超声波电动机；以及通过弹簧力被按压到所述进给丝杠的前端、并且通过该进给丝杠的进给动作进行移位、找位的被动安装部。